Описание:
В установках серии SE/SEC базовая платформа имеет диаметр до 508 мм и может интегрировать до 15 вакуумных вводов для инструментария, управления и манипуляции с элементами системы. Очень часто установка заказывается с колпаком диаметром 495 мм и планетарным подложкодержателем емкостью 18 подложек диаметром по 100 мм. Общее время откачки до рабочего вакуума – менее 30 мин, что позволяет достичь хорошей производительности.
Техническая спецификация:
- Крионасос: 203 мм
- Форвакуумный насос: 39 – 96 м3/ч
- Холодная ловушка: емкость 2,5 л
- Водоохлаждаемая ловушка
- Высоковакуумный вертикальный затвор
- Диаметр прохода форвакуумных клапанов – 75 мм
- Электро-пневматический привод всех клапанов
- Сдвоенный ионизационный вакуумный датчик
Опциональная спецификация:
- Диффузионный вакуумный насос (2400 л/с)
- Рабочая камера с водяным охлаждением, высотой до 762 мм
- Любые подложкодержатели: планетарный, плоский, с изменяемым углом наклона и др.
- Базовая платформа: диаметр 495 мм или 660 мм
- Порт откачки: 197 мм
- Источники: любые по запросу
- Траверса поднятия камеры
- Система управления уровнем LN2 в криоловушке
- Ловушка с молекулярным ситом для предотвращения миграции капель масла в рабочую камеру
- Порт для масс-спектрометра
- Средства контроля за скоростью и толщиной напыления