GeminiSEM является представителем сканирующих электронных микроскопов с полевой эмиссией катода (FESEM) с легендарной технологией колонны Gemini, предоставляющей возможность собирать максимум информации с наиболее обширного ряда материалов.
GeminiSEM предназначен для легкого получения изображений в субнанометровом диапазоне разрешений с усовершенствованной эффективностью детектирования.
Система GeminiSEM разработана для исследований, применений в промышленных лабораториях или целях легкого получения изображений. GeminiSEM сочетает проверенную технологию колонны Gemini с новым дизайном оптики для достижения лучшего разрешения во всем диапазоне ускоряющего напряжения (в том числе и при низких значениях).
Благодаря 20-кратному увеличению сигнала Inlens-детектора становится возможным всегда получать четкие изображения в режиме быстрого сканирования с минимальным воздействием на образец.
Новый режим VP позволит без ощутимых изменений работать в режимах низкого (до 150 Па) и высокого вакуума.
Линейка GeminiSEM основана на технологии Gemini, которая совершенствовалась более 20 лет. Теперь она обладает возможностью эффективнейшего детектирования с превосходным разрешением и с простотой в использовании. Улучшенный сдвоенной (электростатической и электромагнитной) объективной линзы позволяет максимизировать оптическое разрешение и минимизировать воздействие на образцы. Такая технология позволяет параллельно детектировать осевыми детекторами вторичных и обратнорассеянных электронов (Inlens SE и EsB), расположенными внутри электронной колонны на оптическом пути электронного луча с уменьшением времени на построение изображений. Система ускорения луча (Beam booster) гарантирует сочетание малого размера пятна электронного луча и высокого отношения сигнал/шум при малых значениях ускоряющего напряжения.
Больше детализации. Больше сигнала
Благодаря усовершенствованному дизайну электронно-оптической системы GeminiSEM позволяет получать субнанометровое разрешение при низких и ультранизких ускоряющих напряжениях с превосходной эффективностью детектирования. В то же время сигнал осевого детектора вторичных электронов (Inlens SE) усилен в 20 раз для режима низкого ускоряющего напряжения. Уменьшение разброса энергии падающего луча в режиме высокого разрешения позволяет минимизировать хроматические абберации даже при малых размерах пятна луча. В режиме последовательного торможения электронов (Tandem deceleration) тормозящее напряжение прикладывается к предметному столику, тем самым улучшается разрешение ниже 1 кВ и усиливается эффективность внутрикамерных детекторов обратнорассеянных и просвечивающих электронов (BSE и STEM). Оба данных детектора были усовершенствованы и оптимизированы для работы при низких ускоряющих напряжениях и для режима ультрабыстрого сканирования. Угловой aSTEM детектор обладает максимальной гибкостью, позволяющей использовать все режимы контрастирования, даже параллельно.
Расширенный режим VP
Технология NanoVP с давлением до 150 Па предлагает лучший способ уменьшения эффекта заряда непроводящих образцов с использованием возможностей осевых Inlens и EsB детектора. При установлении апертуры дифференциальной откачки под объективной линзой длина пробега электронов до образца и, соответственно, рассеяние луча значительно сокращается. Давление может быть расширено до 500 Па с использованием внутрикамерного VPSE детектора.
Характеристики |
GeminiSEM 300 |
GeminiSEM 500 |
|
Ускоряющее напряжение |
0,02-30 кВ |
||
Разрешение |
0,8 нм при 15 кВ; |
0,6 нм при 15 кВ; |
|
1,7 нм при 30 Па и 3 кВ |
|||
Ток пучка |
3 пА – 20 нА (100 нА опционально) |
||
Увеличение |
12 - 2 000 000 крат |
20 - 2 000 000 крат |
|
Детекторы |
базовые |
Inlens SE, SE, VPSE |
Inlens SE, EsB, ETD, SESI, STEM, BSD, CL |
опциональные |
aSTEM 4, CL, EDS, EBSD, WDS |
aSTEM 4, CL, AsB4, EDS, EBSD, WDS |
|
Столик |
5-осевой эвцентрический; X=130 мм; Y=130 мм; Z=50мм; T= от -3º до 70º; R=360º (непрерывное) |
||
Разрешение кадра |
32 k×24 k пикс |
||
Опциональные приспособления, функции |
3DSM, шлюз 80 мм, Plasma cleaner, NanoVP (до 500 Пa), Local Charge Compensator, Local Charge Compensator and in situ Oxygen Cleaning, Tandem decel |